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臭氧和有机物分子同时被吸附在催化剂表面(络合物作用)，随后二者发生反应。从还原态催化剂开始，臭氧会氧化金属，臭氧在还原态金属上的反应会生成OH，有机物会被吸附在被氧化过的催化剂上，然后通过电子转移反应被氧化，再次产生还原态的催化剂，有机物会很容易从催化剂上解吸(脱附)，然后进入本体溶液，被臭氧和OH氧化。**的臭氧催化剂，可提高羟基自由基的产生量达100-300%，大幅增强臭氧氧化利用率(98%)以上。
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